東南大學電子科學與工程學院掩模光刻機采購項目招標公告
東南大學電子科學與工程學院掩模光刻機采購項目的潛在投標人應在
微信公眾號“蘇
美達達天下”
獲取招標文件，并于
2025
年
7
月
17
日
14
點
00
分（北京時間）前遞交投標文
件。
一、項目基本情況
項目編號：
0664-2540SUMECZF098
（
SEU-ZB-250421
）
項目名稱：
東南大學電子科學與工程學院掩模光刻機采購
預算金額：
370
萬元
最高限價：
3
60
萬元
（境內外產品最高限價均為此限價，其中境外產品不含外貿代理
費），超過最高限價的為無效投標文件
采購需求：
電子科學與工程學院采購掩模光刻機
1
套，主要技術參數：
1)
分辨率：≤
0.8um(i
線，光刻膠厚度
1um
，真空接觸，等間距圖形
)
。
≤2.5um(i
線，光刻膠厚度
1um
，曝光間隙
20um
，等間距圖形
)
。
2)
光強均勻度：≤
±2.5
％，其中在最大晶圓尺寸區域測量至少
9
個點，均勻性
=±
（最大值–最小值）
/
（最大值
+
最小值）。
3
）
正面對準精度≤
±0.5um
，背面對準精度≤
±1.0um
。
合同履行期限：
境外產品：開具信用證后
270
天內設備安裝調試合格。
境內產品：合同簽訂后
270
天內設備安裝調試合格。
本項目不接受聯合體投標。
本項目接受進口產品。
本項目所屬行業：工業。
本項目
(
非專門
)
面向中小企業采購。
本項目
(
非專門
)
面向監獄企業采購。
本項目
(
非專門
)
面向殘疾人福利性單位采購。
二、申請人的資格要求：
1.
滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定：
（
1
）具有獨立承擔民事責任的能力（提
供
法人
或者
其
他組織
的
營
業
執照
，
自然
人的
身
份
證
明
）
；
（
2
）具有
良好
的
商
業信
譽
和
健全
的
財務會計制
度（提
供
參
加
本
次
政府采購
活動
前
半
年
內（至少一個月）的
會計報表
（至少
包
含資產
負債表及
利
潤表
）
或者
2023
年度
或
2024
年
度的
財務審計報
告，
成
立不足一年的提
供
開標前
六
個月內的
銀
行資信證
明原
件。
）
；
（
3
）具有履行合同所
必
需的設備和專業技術能力，提
供
證
明材料或
承
諾函；
（
4
）有
依
法
繳納稅收
和
社會保障
資金的
良好記錄
，提
供納稅憑據復印
件
加蓋
公
章
。
（
依
法
免稅
的應提
供相
應文件
說明
）、
依
法
繳納社會保障
資金的
憑據復印
件（
憑據可以是
繳
費的
銀
行單
據
、專用
收據
、
社會保險繳納清
單
或者
所在
社保
機
構
開具的證
明
等，